【奧坤鑫 OKSUN】什么是等離子清洗機(jī)?
等離子清洗機(jī)(Plasma Cleaner)也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。
等離子清洗屬于干法清洗，采用氣相化學(xué)法去除材料表面污染物。氣相化學(xué)法主要有熱氧化法和等離子清洗法等，清洗過程就是將熱化學(xué)氣體或等離子態(tài)反應(yīng)氣體導(dǎo)入反應(yīng)室，反應(yīng)氣體與晶片表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成易揮發(fā)性反應(yīng)產(chǎn)物被真空抽去。
等離子體基礎(chǔ)知識(shí)：
【真空等離子設(shè)備】等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。
等離子體的"活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。
等離子清洗的優(yōu)勢(shì)：
滿足無損傷和抑制腐蝕的新工藝要求。等離子清洗原理與超聲波原理不同，當(dāng)艙體里接近真空狀態(tài)時(shí)，開啟射頻電源，這時(shí)氣體分子電離，產(chǎn)生等離子體，并且伴隨輝光放電現(xiàn)象。【常壓等離子設(shè)備】
等離子體在電場(chǎng)下加速，從而在電場(chǎng)作用下高速運(yùn)動(dòng)，對(duì)物體表面發(fā)生物理碰撞，等離子的能量足以去除各種污染物，同時(shí)氧離子可以將有機(jī)污染物氧化為二氧化碳和水蒸氣排出艙體外。
等離子清洗不需要其他的原料，只要空氣就能夠滿足要求，使用方便而且沒有污染，同時(shí)比超聲波清洗更具有的優(yōu)勢(shì)是等離子不但可以進(jìn)行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性。
等離子體與物體表面進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)能夠產(chǎn)生活性化學(xué)集團(tuán)，這些化學(xué)集團(tuán)有很高的活性，從而應(yīng)用范圍很廣，比如提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，邦定性，親水性等等很多方面，因此等離子清洗已經(jīng)成為清洗行業(yè)的主流趨勢(shì)。【卷對(duì)卷等離子處理設(shè)備】
