微波等離子清洗機
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| 編號 | 內容 | 規格參數 |
|---|---|---|
| 1 | 項目 | 固態源版本/磁控管版本 |
| 2 | 輸出功率 | 250W×8/1.25kW×2 |
| 3 | 輸出頻率 | 2400MHz-2500MHz可調節/2450MHz±25MHz |
| 4 | 頻率誤差 | ±50ppm/1-2% |
| 5 | 微波泄露 | ≤2mW/cm2 |
| 6 | 冷卻方式 | 水冷 |
| 7 | 工藝氣體 | Ar、O2、H2、CF4等 |
| 8 | 等離子處理面積 | 0.19m2/0.15m2 |
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